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全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機在杭“出爐”

2025-10-14 05:51:27 來源:四海皆兄弟網(wǎng)作者:休閑 點擊:954次

  來源:財聯(lián)社

  財聯(lián)社8月14日電,出爐據(jù)杭州日報,全國近日,首臺商業(yè)作為基地首批簽約孵化項目之一,國產(chǎn)光刻全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”已進入應用測試,電束其精度比肩國際主流設備,機杭標志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。出爐在測試現(xiàn)場,全國浙大余杭量子研究院相關團隊緊張忙碌著,首臺商業(yè)一臺模樣酷似大型鋼柜的國產(chǎn)光刻機器正在做應用測試,電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數(shù)。電束“這不是機杭普通的機器,而是出爐一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’!”團隊負責人告訴記者,全國依托省重點實驗室,首臺商業(yè)這臺研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場。

  “羲之”取名自書法家王羲之,“只不過我們的‘毛筆’是電子束,在芯片上刻寫電路?!毖邪l(fā)團隊相關負責人介紹,這臺設備專攻量子芯片、新型半導體研發(fā)的核心環(huán)節(jié),它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路,精度達到0.6nm,線寬8nm,可靈活修改設計無須掩膜版,如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫,特別適合芯片研發(fā)初期的反復調(diào)試。

責任編輯:陳建瑞 SN243

作者:時尚
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